百级无尘烘箱 MES烘箱
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一．特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100 2.采用控智能控制系统，可对接MES系统数据采集需求，实现过程化管理！操作智能方便! 3.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘； 4.采用2mm厚度SUS304#镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE； 5.采平面水平由后向前送风后经高温H.E.P.A Filter装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门) 二．执行与满足标准 1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件 2.GB2423.2-1989试验B 三．用途 无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。 无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。 无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking)，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。 四．产品技术参数 1.名称及型号：无尘烘箱 COL-180-HMI 2.主要技术指标： 2.1无尘等级：Class 100; 2.2温度范围： 60～ +250℃； 2.3温度均匀度：±1.5%;(空载） 2.4温度波动度：±0.5℃（空载） 2.5温控精度：±0.1℃; 2.6烘箱搁板为活动形式。 2.7工作尺寸：W600×D500×H600 2.8电源：380v,50Hz，6Kw 3、箱体结构： 3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方； 3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘； 3.3箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘； 3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免 烘烤时产生 PARTICLE； 3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩 焊密封加工(防污染)。 4、采用智能控制系统,汇川/欧姆龙PLC 10〃TFT真彩触摸薄屏 程式编辑：可预编120个程式，每个程式最大可编99段，共1200段 历史数据查询(数据可以通过USB接口导出) 可对接MES系统数据采集需求，实现过程化管理，操作智能方便! 5、完善的安全保护措施：漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//电热过电流保护装// 马达过电流保护//机台异常蜂鸣器警示//逆向防止器//门面安全开关//急停//OTP
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